性能/參數

多種氣體可選系列質量流量控制器

流量范圍

0.5SCCM-5000SLPM

可自行修改流量單位如kg/h、g/min等

標定氣體

內置90條氣體可選擇

精度(調零后)

±(0.8%Rd+0.2%FS)

高精度(調零后)

±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM

重復性

±0.2%FS

漂移(零點/滿量程)

0.02% F.S/ºC/Atm

工作范圍

0.5-

響應時間

100毫秒(調整)

啟動預熱時間

1秒內

標準工況

25ºC & 14.696 psia，可自定義修改

工作溫度范圍

-10~-50℃(另有高溫訂制品)

工作濕度范圍

0-RH(非冷凝)

大工作壓力

10Bar

安裝方向

任意

閥門狀態

常閉

材質

SUS302303304不銹鋼、密封圈VITON

顯示屏

背光LCD顯示屏，同時顯示流量、壓力、溫度

數字信號

標準RS232

選配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet

以太網RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP)

模擬信號

標準0-5V/1-5V/0-10V

選配:4-20mA

第二路模擬信號

標準0-5V/1-5V/0-10V

選配:4-20mA

電氣接口

標準圓形8芯

選配:圓形6芯、DB9、DB15

供電電壓

+24VDC

消耗電流

20SLPM以內：250mA

50SLPM以內：750mA

注：5000SLPM消耗2000mA電流